与一般的气体渗氮相比，离子渗氮的特点：
——可适当缩短渗氮周期
——渗氮层脆性小
——离子氮化有净化表面作用，能去除工件表面的钝化膜，可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮
——经离子渗氮的工件氮化层致密性好，硬度高，耐磨性、抗咬合性及抗蚀性等方面均优于气体渗氮。
——由于离子氮化可以在更低的温度下进行，真空加热、真空冷却可以控制加热和冷却速度，使之均匀，所以变形量比气体渗氮要小
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