湿式化学SC-1过程中，在线浓度分析仪

洗净用高纯度湿式化学品

HCl/H₂O₂/H₂O(SC2):

利用双氧水氧化污染的金属，而HCL与金属离子生成可溶性的氯化物而溶解。

HCl:H₂O₂:H₂O=1:1:6，在70度下进行5~10分钟的清洗；

SC1、SC2标准溶液都属于RCA制程

 H₂SO4/H₂O₂(Piranha Clean, Caro Clean):

利用硫酸及双氧水的强氧化性和脱水性破坏有机物的碳氢键，去除有机不纯物。

H₂SO₄:H₂O₂=2~4:1，在130度高温下进行10~15分钟的浸泡。

光刻用高纯度湿式化学品

光阻-树脂、感光剂、溶剂

光阻稀释液-PGMEA PGME，清除晶圆残余光阻

显影剂-TMAH TEAH

美国EMC公司成立于1946年，作为一家高科技公司，从成立至今，EMC一直专业从事在线硫酸浓度仪的研究开发和制造工作，产品广泛应用于半导体行业。1952年，EMC推出自己的第一台在线临界角TMAH浓度仪，用于检测TMAH溶液浓度。MPR E-Scan是EMC推出的TMAH在线浓度仪，因为采用临界角测量的技术，它非常适合于各类化工液体产品如TMAH、TMCL、H2SO4、H2O2、氨水等的过程浓度测试。因为具有丰富多样的安装适配器，MPR E-Scan适合于安装于几乎任何场所。

MPR E-Scan是一个微处理器驱动的临界角浓度仪，因为采用分体式设计，将仪器CPU和主要电路板与光学部分分离，使系统更耐高温和振动、稳定性更好、测试更准确、有效使用寿命更长。它能在即时显示产品浓度值的同时，将该浓度值传输到系统，便于系统集成控制。

临界角在线TMAH浓度仪 MPR E-Scan能直接安装在管道或者容器上，进行浓度的测量和控制。它能直接显示出：质量百分比浓度(Percent)、固形物含量(Solids)或(R.I.)等。它的高可靠性和高精度能为用户的过程控制直接创造价值。