含有机物的尾气首先经预处理装置处理，然后进入吸附床，其中的有机物被活性炭（纤维）吸附下来，净化后的气体从吸附床底部由引风机排空。
吸附饱和的吸附床用低压蒸汽进行脱附。蒸汽由吸附床底进入，穿过吸附剂，将被吸附的有机物脱附出来并带出吸附床进入冷凝器；在冷凝器中，有机物和水蒸汽的混合物被冷凝下来流入分水箱；在分水箱内，有机物和水通过重力分层，分层后有机物予以回收（如有机物溶于水则需精馏后再回用）。吸附床完成脱附并经干燥再生后，切换回吸附状态，从而完成一个操作循环。整个过程几个吸附床连续交替、循环运行。
根据尾气的排放情况及厂家对气体的处理要求，设备可配置二至三个吸附床。处理工艺以三床为例，如下图所示（详细工艺流程见附图）。