CCQ-A型系列气动超高真空插板阀
产品概述
CCQ-A型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
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适用范围(Pa) |
105～1.3x10-7 |
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阀门漏率(Pa.L/S) |
DN≤200为≤1.3x10-7 |
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阀门烘烤温度（℃） |
≤150(除传动装置外) |
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开阀时阀板两侧压力差(Pa) |
≤2.7x103 |
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气源压力（MPa） |
0.4～0.6 |