工作原理 首先设定真空系统的上下限值（比如上限值设定为-008MPa，下限值设定为-006MPa），启动系统后，其中一台真空泵开始工作，直到真空罐内真空度达到上限值-008MPa，此时真空泵自动停止运行，真空罐内真空由自动逆止阀自动截止，如因工作需求真空罐内真空度降至低于下限值-006MPa时，另一台真空泵自动启动，直到真空罐内真空度抽到上限值-008MPa为止。如此循环反复自行运动，使真空罐内真空度始终保持在上、下限值之间。 爪式泵的特点 爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点： 1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生； 2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）； 3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损； 4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除； 5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀， 电气监控及报警装置； 6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑； 7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分 别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量； 8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系 统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流； 9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。 当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以 满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制 马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的 阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段 涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化 1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。 使用真空泵的环境温度 人体的温度几乎是恒定的，温度过高或过低都会对我们的体内的各种运转、调节造成影响，我们使用的很多设备也是如此，真空泵就是这样的情况。 真空条件下的气体分析和分压力测量通常是由动态质谱计完成的。被输送介质中，若含有固体颗粒，泵入口要加过滤网：如含有铁磁质微粒，需加磁性过滤器。 真空泵在使用中环境温度应小于40℃，电机温升不可超过75℃。磁力泵正常运行1000小时后，要拆检轴承和端面动环的磨损情况，并更换不能再用的易损件，对于输送液为易沉淀结晶的介质，使用后要马上清洗，排净泵内积液。真空泵必须经常保持清洁，真空泵上不得放置其它物件，不可堵塞泵四周通道，以更好的维修和操作。