爪式泵的特点 爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点： 1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生； 2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）； 3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损； 4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除； 5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀， 电气监控及报警装置； 6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑； 7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分 别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量； 8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系 统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流； 9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。 当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以 满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制 马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的 阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段 涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化 1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。 该系列真空泵可单独使用，亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用。可供真空镀膜、真空热处理、真空浇铸、电子管、灯泡、热水瓶等的排气。医疗卫生和实验室亦可配供此泵。注意：该泵不宜抽除含氧过高、有害、对金属有腐蚀性、对真空油起化学反应，含颗粒尘埃的气体，也不能用来把气体从一个容器抽送到另一个容器作输送泵。设有掺气阀时，可抽送适量可凝性气体。 性能特点 该装置启动后，全部运行过程可以实现自动化。其工作过程中，真空系统内各处的真空度始终在其允许的范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。若出现真空度低于调定值时，报警器将发出警报。该装置在无人操纵情况下对系统进行自动控制，在断电时可自动封闭真空系统。该装置配备一台汽水分离器，从而可以节约水源并减少污染。