杨 一
25MW太阳能电池生产项目配套了30套废气治理设施，无锡君晓提供的centrotherm燃烧水洗（CT-BW)废气处理设备、CT-D干式吸附废气处理设备，现将废气治理设施的处理工艺及流程和废气出口监测情况进行介绍。
纯水洗废气处理设备
酸雾净化塔主要处理酸性废气、扩散废气和刻蚀废气。
处理工艺：废气从废气洗涤塔底部水平穿过废气洗涤塔内的填料，碱液经喷淋系统从废气洗涤塔上方喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中和反应，从而达到净化效果。为达到佳吸收效率，碱液的pH值保持在9左右。自动加药系统可实时检测废气洗涤塔内中和液的pH值，根据实际检测值与设定值的关系来驱动计量泵，从而实现自动加药功能。处理后的废气监测结果见表1。
燃烧水洗废气处理设备（硅烷燃烧）
燃烧水洗废气处理设备主要处理PECVD废气。
处理工艺：PECVD废气通过管道进入硅烷燃烧塔的硅烷燃烧室，同时通入一定量的压缩空气。硅烷在常温空气中即可自燃，硅烷燃烧后的温度约500℃～600℃可引起氢气燃烧。因此，在燃烧塔的硅烷燃烧筒内，硅烷和氢气首先被燃烧处理，燃烧反应方程式为：
燃烧后的废气经由重力沉降室，大部分燃烧生成的SiO2等粉尘经过沉降，废气流速降低再进入硅烷燃烧塔的氨气洗涤塔。氨气洗涤塔中装有填料，塔顶喷洒的酸性洗涤水。氨气被酸液化学吸收，一般可能保证氨气80％以上的去除率。
杨 一