采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
是重工业必不可少的废气处理设备该设备的净化效果比传统的净化方式更快更方便，等离子净化器是目前市场需求量高的废气净化设备，它的优势1、环保节能净化效率高2、使用方便适用范围广泛3、设备使用寿命长。
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