RTS-3型手持式四探针测试仪

测量范围宽、精度高、稳定性好、结构紧凑、易操作的手持式设计；
体积仅为：185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)； 重量：350g；
使用锂电池供电，一次充电可连续使用100小时；
 手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
    仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技　术　指　标 ：
 测量范围  电阻率：0.01～1999.9Ω.cm；  
 方块电阻：0.1～19999Ω/□；
恒流源  电流量程分为100μA、1mA两档，两档电流连续可调
数字电压表  量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV；  
 输入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%；  
 显示：以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标  间距：1±0.01mm；  针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)  1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度  ≤5%
外型尺寸  185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)
重量  350g
电源  锂电池，一次充电可连续使用100小时；
标准使用环境  温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无高频干扰； 无强光直射；