废气源→集气罩（搜集车间各个废气源的废气，接入主管道）→废气净化塔（吸收掉粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境）→一级低温等离子废气净化器（破坏废气分子结构，转化为无污染物质）→二级低温等离子废气净化器（进一步破坏废气分子结构，转化为无污染物质）→高压风机（高压的吸力作用下将风抽出车间）→废气洗涤塔（进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些酸碱气体，水洗小分子碎片，利于检测达标）→光解式废气净化装置→烟囱高空排放（也可低空排放）。
1.预处理
废气先通过双层过滤网板，利用高效纤维过滤器自身的精巧结构去除废气中的杂尘。
2.吸附
去除杂尘后的废气，均匀地通过固定吸附床内的活性炭层，其中有机污染物被活性炭巨大的表面吸附，使废气得到净化，净化后的气体达标排放；每套装置设三台吸附床，即废气从两台吸附床经过，另一台处于脱附再生阶段，从而使吸附过程可连续进行，不影响车间生产。