Aera FC-D980 系列数码 MFC（质量流量控制器）和 MFM（质量流量计）具有卓越的性能和通用性，从而大幅节约了成本且易于使用。多种输出选择允许进行模拟或数码控制，可用于目前大多数控制和通信配置。为适应您优先选择的价值和功能，该产品线拥有单气体和多气体、多范围的 MFC。多气体、多范围可以通过显著减少备件库存要求降低成本。RS-485 通信（带有转换器的 RS-232）与全面的诊断和警报功能相结合，达到了全面的监控和控制性能，操作参数就在您的弹指之间。
性能:
出色的精确性、可重复性和稳定性
大幅节约了成本
限度的运行通用性
无与伦比的可靠性
特点:
多气体、多范围选择
模拟、模拟/数码以及数码模式
压电控制阀
多警报和诊断功能
金属密封，泄漏率为1x10-10
电解抛光且超洁净气体湿润表面
