紫外线/臭氧光解氧化技术是一种新型废气治理技术，其基本原理：废气一方面在高能紫外线照射下，使挥发性有机物（VOCs）化学键开环和断裂等多种反应（光化学反应），降解转变成CO2，H2O等低分子化合物；一方面利用高能紫外光照射空气中的氧气生成臭氧，臭氧吸收紫外线生成氧自由基和氧气，氧自由基与空气中的水蒸气作用生成羟基自由基，一种更强的氧化剂，与醇、醛、羧酸等有机废气，彻底氧化为水、二氧化碳等无机物。另外，未吸收紫外线的臭氧也是一种强氧化剂，与一些有机废物接触后将其氧化生成水、二氧化碳等无机物。
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