利用高能紫外线光束照射有机废气和恶臭气体，快速裂解废气和恶臭气体破坏其核酸，产生一系列光解裂变反应,重新进行DNA分子排列组合，降解转变为低分子化学物，污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物在UV紫外光的照射下，产生光触催化反应，极大地提升和加强了紫外光波的能量聚变，在更加高能高效地裂解废气和恶臭气味分子的同时，催化产生更多的活性氧和臭氧，对废气和恶臭气味进行更地催化氧化分解反应，从而达到净化废气的效果。
光氧净化设备的优点变现在各个不同方面，首先我们来介绍几点：1、净化效率好运行稳定2、重量轻易于安放3、高能紫外线灯管和高压等离子电厂组成，4、噪声小，风阻小5、成本低耗电少6、维护方便，使用寿命长7、安全操作简便，价格合理
光氧催化废气处理设备的应用范围也很广泛如：垃圾处理站、恶臭异味领域，喷涂车间、塑料厂、皮革厂、化工厂、石化厂、泵站、屠宰场、印刷厂、漆雾处理等等