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低温等离子体技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性技术，该技术显著特点是对污染物兼具物理效应、化学效应和生物效应，且有能耗低、效率高、无二次污染等明显优点。
低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。因此低温等离子体除臭技术具有优秀的消毒杀菌之功效。
其净化作用机理包含两个方面：一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物。
低温等离子体中的高能电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子。
废气处理措施等离子有机废气净化器
等离子有机废气净化器采用了独特的吸附-分解-碳化新工艺技术设计，voc有机废气处理器，是一种干法处理有机废气的净化设备，它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，更换及维护保养方便（可在设备正常运行情况下更换维护操作）。等离子有机废气净化器产品，无需增大抽风设备风阻小，安装简便，可根据客户现场环境要求分组制造，方便运输及安装。设备结构紧凑，投资低，操作方便，产品采用标准型材料制造，或采用全不锈钢材料制造，处理风量有6000～80000m3，以上是目前处理工业有机废气污染的先进设备。