低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，是气体在外界能量作用下产生的包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。该技术是利用高压脉冲电晕放电或介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生极高化学活性的基团，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2、H2O或小分子等物质，从而达到净化废气的目的。因等离子体中的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
等离子除臭设备是由离子发生器、离子传送管、控制系统组成、用来除臭、清除异味的空气净化设备，普遍应用于工厂、车间、污水站、垃圾除臭等场所。
等离子除臭设备的主要原理是在高压电场作用下，产生大量的正、负氧离子，具有很强的氧化性。能在极短的时间内氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氢、醚类、胺类等污染臭气因子，打开有机挥发性气体的化学键，最终生成二氧化碳和水等稳定无害的小分子，从而达到净化空气的目的。
废气由收集气管收集，由风机送入FSD-DLZ低温等离子体废气处理设备，经过滤后进入低温等离子反应模组，高压脉冲放电产生的大量的高能电子、离子和自由基等活性粒子，将废气氧化分解，净化后的废气经排放管道达标排放。
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