首先，无油真空泵相对有油真空泵来说，抽取的气体不会掺杂油气。可获得洁净的真空环境。另外，如果抽取的气体对油有腐蚀性，或者含大量水分等可破坏油的物质，那就不能使用有油真空泵。因为有油真空泵里面的油一般是用来润滑和密封的。
它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。
真空泵的发声原理 真空泵是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
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