电子行业为一个质量要求严格产业，超纯水在电子制造业领域使用比较广泛，主要是因为电子产品的精密元件在制造的时候有时需要用水进行清洗或者是冷却，这就要求用水不能含有任何的导电物质，否则会出现元件损坏，所以也就造成了该行业对超纯水的极度需求。于是市场上出现了大量的电子行业超纯水处理设备，现在大家选择设备的同时也很看中设备的工艺。
超纯水系统工艺主要有三大类，其他的工艺基本上都是在这三大类的基础上进行不同结合搭配衍生出来的。现在将这三种工艺的优缺点列于此。
1、EDI电子专用超纯水设备采用的第一种工艺主要使用离子交换树脂，优点显示在投入资金少，占用的地方不是很大，但缺点也非常明显，必须经常进行再生，对环境有一定的破坏。
2、第二种工艺使用反渗透技术作为预处理装置技术，这个工艺缺点比上一种工艺还要严重，初期的投入资金比上一种高出很多，唯一的优点就是EDI电子专用超纯水设备再生时间间隔相对要长，对环境同样有一定的污染性。
3、第三种工艺同样是采用反渗透作装置作为预处理设备，第三种方法这是现如今制取超纯水最经济、最环保用来制取超纯水工艺，不必进行设备再生处理，并且周围环境基本无污染。但是其缺点在于资金投入方面相对以上两种方式还是过于高。
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