表面超硬化处理是指化学气相沉积(CVD)，物理气相沉积(PVD)，物理化学气相沉积(PVD)，TD覆层处理。这几种表面处理的共同特点是都可以在工件表面形成HV2000以上的硬化层，并具有极高的耐磨抗咬合等性能。实践证明，化学气相沉积(CVD)，TD覆层处理技术是目前解决工件拉伤问题效果的方法，而物理气相沉积(PVD)，物理化学气相沉积(PCVD)，虽然其表面硬度也可达到HV2000—3000，甚至更高，表面层硬化层也具有极高的耐磨，抗拉伤性能，但由于其膜基结合力较CVD和TD覆层处理差距较大，往往在使用过程中过早脱落，发挥不出表面超硬化层的性能特点，因此这两种方法除在载荷较小的情况下有可能具有效果外，一般的成型类模具很难有满意的效果。
化学气相沉积(CVD)沉积的碳化钛(Tic)或碳氮化钛(TiNC)之类的材料，具有极高的硬度(HV3000以上)，加上其膜基结合力很高，具有比一般模具材料或其它表面处理高得多的耐磨，抗拉伤性能，能够数倍至几十倍地提高模具的使用寿命。其缺点是处理温度高，工件变形大，工件CVD处理完以后，需另外重新加热淬火，而表面沉积层在空气中于400—500℃以上的温度下加热会氧化，