μ Phase高精度干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，被国家计量院，以及各大天文、光电研究所应用于精密光学检测，测量精度及稳定性已得到研究机构的广泛肯定。
应用范围：
可用于测量平面和球面光学零件
可完成各种类型的反射和透射检测
可采用透射法检测双胶合透镜
曲率半径测量
非球面、柱面、轮胎面等面型的测量
大型平面的检测
光学材料的均匀性检测
理想的成盘抛光分块镜面型检测
典型应用
μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down
用于测量不同的平面和球面光学零件 操作直观而简单，适合非专业人士操作 测量范围：μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm—225mm，直径55mm
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合