光氧催化反应进行的第一阶段是利用特制的高能UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：VOC类，苯类，烃类，醇类，酯类，酮类等多种VOC（挥发性有机化合物），处理效果好，净化效率高，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
第二阶段是利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。第三阶段是利用纳米紫外线照射涂有TIO2的媒介（光触媒板）产生-OH来氧化有机废气。有机废气经过本设备净化后，使废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。