低温等离子体净化设备在使用时的安全风险主要包括以下几个方面：
（1）废气本身或处理系统积累的有机物浓度高，达到了被净化物质（或混合物）的爆炸极限值，电极放电时造成设备爆炸。
（2）废气的预处理不到位，废气中的油雾或漆雾等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火。
（3）某些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一定程度也会引起设备着火。
以上就是低温等离子处理VOCs废气工艺的特点和对其安全性的分析，在工业生产中，我们一定要做好对工艺流程的详细了解，确保其安全性，这样才是对企业和操作工作人员的负责。
