简介 是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS ）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。产产品特点• 传感器灵敏度高 ,有极小的始动流量• 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高• 传感器的零点稳定度高• 全量程高稳定性• 全量程高精确度和优良的重复性• 低功耗• 低压损• 响应时间快 技技术参数FS4001通径mm 大流量量程比精度gt;100:1±(1.5+0.5FS)±0.25±sccm %%mV%/℃msec重复性 零点输出漂移输出漂移响应时间工作电源输出方式 大流量压损 大工作压力工作温度储存温度工作湿度机械接口标准校准气体重量±~18Vdc，50mA线性，RS232 / 模拟0.5~4.5VdcPaMPa℃0.5 -5~+55-20~+65<95%RH（无结冰，无凝露）可拆式软管接头空气，20℃kPa15
