化工厂废气处理设备工作原理是：废气进入处理装置，首先经洗涤处理工艺段，去除颗粒物与粘稠物质，向上经脱液过滤层，然后再次进入到二级低温等离子进行净化处理，洁净的空气经烟筒排空。
化工厂废气处理设备技术是电子,化学和电化学过程的催化合成,是技术创新的新领域。取决于等离子体在强电场电离能量,产生开裂的时候可以有害气体的化学键,从而破坏废气的分子结构,净化的目的。
一个完整的废气净化系统一般由五部分组成，它们是捕集污染气体的废气收集装置（集气罩），连接系统各组成部分的管道，使污染气体得以净化的净化装置，为气体流动提供动力的通风机，充分利用大气扩散稀释能力 减轻污染的烟囱。
化工厂废气处理设备大体包括：光催化氧化设备、低温等离子设备、催化燃烧设备、光电协同氧化设备、活性炭吸附设备、喷淋塔、异味处理器以及相关配套设备等多种，如何选择化工厂废气处理设备，厂家要根据自身不同的企业状况，不同的废气治理方案和企业自身实际需要来选择。
化工厂废气处理设备利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。
在废气处理的诸多设备中应根据具体情况选用费用低、耗能少、无二次污染、尽量做到节约能耗，有利环保。如，废气净化行业代表性单位--CHO-91废气净化塔采用五重废气吸附过滤净化系统，废气净化设计周密、层层净化过滤废气，效果较好。
