现在市场上用的最多的是UV光氧净化器和低温等离子净化器，二者在废处理问题上起着重要的作用。
光氧催化废气设备是目前国际上比较重视的一种有机废气处理设备，传统的有机废气处理主要是依赖于燃烧、催化燃烧、吸附等处理方式进行处理，但是这些处理方式相对来说都会消耗一定的能源，并且还会造成空气的二次污染问题，因此现在急需一种更加快捷简单无污染的处理手段。光氧催化废气处理设备从废气污染的源头开始进行废气的处理，可以达到降低工业废气处理成本的目的，尤其该设备的自动化程度非常的高，可以满足中小型企业场地狭小、技术实力较差的实际情况。
UV光氧净化设备作为工业废气处理技术的一种，在目前来说是比较先进的。该设备的研发充分考虑了工业废气成分的复杂性与不确定性，使得整个工程从设计、到调试、维护更具可行性、有效性，把工业中不同成分的废气转化成环保达标的、可循环利用的气体。
影响UV光氧净化器治理VOCs效率的主要因素如下：
初始浓度的影响
1、随着甲苯浓度增高，降解效率降低。这是由于真空紫外灯发射的185nm的紫外线能量强度有限，单位时间内光解效率下降。
2、单纯的增加灯管的数量是无法解决高浓度有机气体问题，紫外光解技术不适合中高浓度VOCs气体。
相对湿度的影响
1、相对湿度低的条件下，氧气吸收了大部分185nm紫外光，随着湿度的增加一部分是水蒸气与氧气竞争吸收185nm波长的紫外光，水蒸气吸收了更多的185nm紫外光，产生更多羟基自由基；
2、水蒸气与活性氧反应生成羟基自由基；
3、羟基自由基的氧化性要强于臭氧、活性氧，从而光解速度加快，促进单位时间去除率的增加。
湿度差的影响
1、通过大量实验证明：风速越大，水蒸气进出口的湿度差越小，这也就是说风速越大，羟基自由基产生量的值越少。
2、风速小的工况下，羟基自由基对挥发性有机物的贡献大，风速大的工况下，羟基自由基对有机物降解的作用变得十分有限。
停留时间的影响
1、在一定范围内，停留时间增加，甲苯的去除效率有明显增高。原因是停留时间增加，185nm紫外光和有机物碰撞次数增加。
2、当停留时间达到11s后，延长停留时间，甲苯的降解效率增加不明显。尤其是在低浓度下，延长停留时间并不能有效的增加甲苯去除效率。
温度和臭氧的影响
1、真空紫外设备进口的风速影响了紫外灯的灯管表面温度，灯管表面温度与紫外灯的发光效率有直接关系，灯表温高于某一数值时会直接影响其发光效率。
2、风速增大，臭氧浓度降低，臭氧产生量没有明显变化，说明在3m/s时真空紫外已经被空气中氧气充分吸收，增大空气进气量，灯管自身产生的臭氧量没有明显增加
臭氧的影响
1、臭氧与甲苯在自然状态下是不发生化学反应的。
2、臭氧协同真空紫外对甲苯是有降解效果的。254nm的紫外光可以促进臭氧产生氧自由基，从而氧化甲苯。 臭氧在真空紫外条件下与空气中的水蒸气可产生羟基自由基，羟基自由基可氧化甲苯。
以上几点要素都是会影响UV净化器对废气治理的效率，不容忽视。