蓄热式热氧化器，简称为RTO，在热氧化装置中计入蓄热式热交换器，在完成VOC预热后便可进行氧化反应。现阶段，蓄热式热氧化器的热回收率已经达到了95%，且其占用空间比较小，辅助燃料的消耗也比较少。由于当前的蓄热材料可使用陶瓷填料，其可处理腐蚀性或含有颗粒物的VOC气体。
现阶段，RTO装置分为旋转式和阀门切换式两种，其中，阀门切换式是常见的一种，由2个或多个陶瓷填充床组成，通过切换阀门来达到改变气流方向的目的。
六、VOCs废气处理技术——液体吸收法
液体吸收法指的是通过吸收剂与有机废气接触，把有机废气中的有害分子转移到吸收剂中，从而实现分离有机废气的目的。这种处理方法是一种典型的物理化学作用过程。
有机废气转移到吸收剂中后，采用解析方法把吸收剂中有害分子去除掉，然后回收，实现吸收剂的重复使用和利用。