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AMW-V08_AMSEMI半自动晶圆真空贴膜机

  • 发布时间:2019-04-15 16:57:09
    报价:面议
    地址:上海,青浦,练塘镇章练塘路588弄15号1幢1层
    公司:上海衡鹏能源科技有限公司
    手机:13901841523
    用户等级:普通会员 已认证

    ——专利设计的无滚轮真空贴膜系统,适用于8”晶圆。

    AMSEMI半自动晶圆真空贴膜机AMW-V08特点:

    ·8”晶圆适用;

    ·专利设计的无滚轮真空贴膜;

    ·自动胶膜进给及贴膜;

    ·手动晶圆上下料;

    ·自动圆形轨迹切割胶膜;

    ·蓝膜、UV胶膜可选;

    ·工控机+Windows系统;

    ·配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;

    ·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;

    AMW-V08半自动晶圆真空贴膜机规格参数:

    晶圆直径      8”晶圆;

    晶圆厚度      100~750微米;

    晶圆种类      硅, 砷化镓或其它材料;

                单平边,双平边,V型缺口;

    膜种类        蓝膜或者UV膜;

                宽度毫米;

                长度:100米;

                厚度:0.05~0.2毫米;

    贴膜方法      独特的真空贴膜,无滚轮;膜张紧度可控;

    晶圆台盘      接触式晶圆台盘,用于薄晶圆;

    晶圆台盘加热  最gao可达80℃ (对应接触式台盘,可选);

    晶圆放置精度  X-Y: +/- 0.5毫米; Θ : +/- 0.5°;

    装卸方式      手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测;

    已用胶膜回卷  自动回卷已使用的胶膜;可检测膜尾;

    防静电控制    去离子风扇;

    切割系统      自动圆形轨迹切割;

    控制单元      基于PC控制,10.4”触摸屏;

    电源电压      单相交流电220V,10A;

    压缩空气      60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;

    真空供应      高真空供应装置,用于给真空腔提供真空;

    灯塔          三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测;

    安全          配置安全光帘和紧急停机开关;

    体积          950毫米(宽)*1300毫米(深)*1800毫米(高) ;

    净重          300公斤;

    半自动晶圆真空贴膜机AMW-V08性能

    贴膜品质      没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

    Cycle Time    ≤45秒(不包含上料/下料时间);

    MTBF          >168小时;

    MTTR          <1小时;

    停机时间      <3%;

    更换产品时间  ≤30分钟

    AMSEMI半导体名称及型号:

    ATW-08/ATW-12                半自动晶圆贴膜机(减薄前)   

    ADW-08 plus/ADW-08           半自动晶圆撕膜机(减薄后)   

    AMS-12                       半自动贴膜机 (基板切割)    

    AMW-08 AT                    半自动晶圆贴膜机(预切割膜)  

    AMW-08/AMW-12                半自动晶圆贴膜机(切割膜)   

    衡鹏供应

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