韩国倍增（BEGA）产品概述：
等离子体模块可以安装在各种系统设备中
多种处理能力, 优异的处理速度和处理性能
辉光，均匀流动等离子体. 低电压, 极少气体消耗
不产生臭氧和有毒气体
可以客户化设计
韩国倍增（BEGA）应用方向：
高分子材料，纳米材料, 有机物清洗
半导体，触摸屏，生物材料处理
提高表面粘附力和表面改造
韩国倍增（BEGA）技术指标：
等离子体源: 射频-辉光等离子体源 (DBD 型, 专利的)
空气冷却
脉冲匹配适用
等离子体区域：800mm
射频发生器: 功率：1KW
频率: 13.56MHz
AC 输入: 单相100~240VAC 50/60Hz
接口: 模拟接口,RS-232串口
冷却: 加压气流
自动匹配箱: 功率: 1KW
标称RF电流: 30A
标称RF频率: 13.56Mhz
外部接口: Multi-connector B10N
AC 输入: 单相100~240VAC 50/60Hz
接口: 模拟接口,RS-232串口
冷却: 加压气流
MFC : Ar(30lpm), O2/N2(200sccm), voltage : +15vdc, signal: 0~5V