一、低温等离子区：
在外加电场的作用下，介质放电产生大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，引发一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场+电子→高能电子
(2)高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
光氧催化净化器设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。恶臭气体；利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能C光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其讲解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解恶臭气体中的分子键，破坏的，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭的目的。