芯片半导体厂用哪种方法处理废气

是一种采用水洗式的洗涤塔 ，它的主要功能是通过控制洗涤塔中水的酸碱度、电导度等参数，在废气与水交叉流过时使废气在洗涤塔中与水进行充分接触，吸收其中的酸性或碱性物质。洗涤塔内安装有填料床，用于增大废气与水的接触面积，延长接触时间。填料床下面是循环水池，通过循环水泵使液体不停的循环。还设有加药泵、pH计用于控制 pH值；液位计、电导度计用于排水和补水控制 ；压差开关、压力传感器用于监控系统的运行情况。 

通过调整酸性排气洗涤塔循环水的 pH值发现 ，淋洗塔内的物理吸收是一个不稳定的可逆，吸收水中的酸，并在淋洗过程中很容易再被脱附出来。当pH低于7．6时 ，即使将循环水的电导度调至低于5 ms/cm系统的处理效率仍然不超过60％；而当pH值高于8时，系统处理效率通常高于90％；当pH值达到10时，系统处理效率甚至超过 99％。因此控制 pH值是保证系统处理效率的关键参数。虽然酸性排气洗涤塔，pH值越高处理效率越好，但实际运行中pH过高会增加运行成本，并会产生结晶等问题，危及生产安全，因此pH值通常控制在8～l0。同样，对于碱性排气洗涤塔 ，pH值通常控制在 3～6之间。