光氧废气净化器利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因光氧废气净化器的工作原理：
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由臭氧发生器作用引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子，分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
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