装载工位专利转让

摘要：基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以便改变基板加载工位的基板盒保持容量。