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高纯氦成分
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高纯氦（GB/T |
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项目名称 |
指标 |
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优等品 |
一等品 |
合格品 |
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氦气纯度，% ≥ |
99.9996 |
99.9993 |
99.999 |
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氖含量，ppm ≤ |
1 |
2 |
4 |
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氢含量，ppm ≤ |
0.1 |
0.5 |
1 |
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氧（氩）含量，ppm ≤ |
0.5 |
1 |
1 |
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氮含量，ppm ≤ |
1 |
1 |
2 |
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一氧化碳，ppm ≤ |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
|
二氧化碳，ppm ≤ |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
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甲烷量，ppm ≤ |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
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水分含量，ppm ≤ |
1 |
2 |
3 |