低温等离子技术
电场激发出的电子、自由基、激发态分子（主要是O3等）等活性物质，是低温等离子体技术净化有机废气的关键。VOCs组分解离的难易程度，一方面取决于电子的能量，另一方面还取决于分子中化学键的键能。电子在放电过程中获得的能量主要集中在2~12eV之间，而VOCs分子分解所需要能量刚好均在这个区域内。
目前，产生低温等离子体的常用方法是电晕放电和介质阻挡放电。
电晕放电，是在大气压或高于大气压条件下，使用电极表面曲率半径很小的电极，如针状电极或细线状电极，由于放电空间电场不均匀，使电离过程主要局限于局部电场很高的电极附近，特别是发生在曲率半径很小的电极附近或薄层中，并伴随明显光亮的放电现象，一般都发生在高电压（大于5kv）和较高频率（20～40kHz）条件下。
介质阻挡放电，是绝缘介质覆盖在电极上或者悬挂在放电空间中的一种气体放电。当在电极上施加足够高的交流电压，电极之间的气体发生电离，而电极间的介质能起到储能作用，限制放电电流的自由增长，进而产生大量细丝状、极短的脉冲微放电，均匀稳定地充满整个放电间隙，同时能抑制级间火花或弧光的产生。
采用介质阻挡放电方式的等离子体反应器，一般都采用陶瓷、石英等防腐蚀介质材料，电极与废气不直接接触，从而可以一定程度避免设备腐蚀问题。而电晕放电技术（或针尖放电式）通常是气体与电极直接接触的，即使通过的气体没有腐蚀性，但等离子体中的活性强氧化物质（如臭氧）也可能腐蚀电极。相对而言，采用介质阻挡放电方式比电晕放电方式（如针尖放电）更安全。
值得注意的是，低温等离子体技术主要是将有机分子中的化学键打断，但尚未能完全将有机物矿化成CO2和H2O。以某治理项目为例，非甲烷总烃的去除率仅为45%，而恶臭的去除率可达93%。这主要是因为非甲烷总烃经过处理后，大分子变成小分子，用色谱法检测依然表现为非甲烷总烃；而分解过程中产生的部分异味副产物（如臭氧等）亦会对恶臭的去除率有一定影响。
因此，正经的低温等离子体技术供应商，通常还会在等离子反应器前配置预处理系统，有效去除废气中的粉尘和水分，并且也会在反应器后再配置后处理系统，延长废气与活性物质的反应时间，同时对多余的活性物质（主要是臭氧）进行分解消除。