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超纯氩气（GB/T |
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项目名称 |
指标 |
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超纯氩气 |
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氩气（Ar)的体积分数/10-2 ≥ |
99.9999 |
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氢气（H2)的体积分数/10-6 ≤ |
0.1 |
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氧（O2）的体积分数/10-6 ≤ |
0.2 |
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氮（N2)的体积分数/10-6 ≤ |
0.5 |
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甲烷（CH4)的体积分数/10-6 ≤ |
— |
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一氧化碳（CO)的体积分数/10-6 ≤ |
0.1 |
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二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6 ≤ |
0.1 |
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总烃（以甲烷计）含量/10-6 ≤ |
0.1 |
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水分/10-6 ≤ |
0.2 |
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注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。 |