低温等离子体处理臭气，废气中的污染物分子、水分子、氧气分子等在高能电子的直接轰击下，使其分子键断裂，转变为CO2、H2O、N2、OH-，O，O3及小分子物质。由于污染物质的分子较大，极易成为靶分子基团，该过程中大量的污染物分子被分解。高能电子的直接轰击在等离子反应整个过程中，起到了99%以上的作用，副反应是新生态氧、臭氧及羟基等部分小分子高能活性基团，一系列的复杂的物理化学反应，完成深度氧化，使之彻底分解、裂解，终转化为CO2、H2O、S、N2等无害化物质，该过程在整个反应过程中约占1%。
经低温等离子体处理后的臭气从逆流式碱洗涤塔塔体外部进入塔体后，再进入填料层，填料层上有来自于顶部喷淋液体及前面的喷淋液体，并在填料上形成一层液膜，气体流经填料空隙时，与填料液膜接触并进行吸收或综合反应，填料层能提供足够大的表面积，对气体流动又不致于造成过大的阻力，经吸收或综合后的气体经除雾器收集后，经出风口排出塔外。
