在将废气进行催化燃烧的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化燃烧所需要的起燃温度，再通过催化剂床层使之燃烧，由于催化剂的存在，催化燃烧的起燃温度约为250-300℃，大大低于直接燃烧法的燃烧温度650-800℃，因此能耗远比直接燃烧法为低。
低温有机废气经预热室吸热升温后，进入燃烧室(氧化室)高温焚烧伽热升温至800°C)，使废气中的VOCs在燃烧室氧化分解成CO2和H2O。氧化后的高温气体流经另一个蓄热室，淄博催化燃烧设备，与其中的陶瓷蓄热体进行热交换后排放。
过渡元素氧化物和稀土元素氧化物。单组分氧化物，如氧化铜(CuO)和氧化镍(NIO).单组分氧化物的耐热性差，活性低，限制了其应用。
催化燃烧工艺的废气处理强度很高，能够适应多种类型的有机废气。
阻火器：由特1制的多层金属网组成，可阻止火焰通过，催化燃烧设备厂，过滤掉气体中较大的颗粒（污物），供应催化燃烧设备，是本净化装置的安全装置之一。
在我国，VOCs已经作为一种污染物开始进行系统的防治，国内外对VOCs的治理技术也开展了大量的研究和实践。VOCs的治理技术多种多样，在应用中应该根据工厂的实际情况做出合理的选择。专家认为，催化燃烧技术因起燃温度低、适用范围广、没有二次污染等特点成为最有应用前景的VOCs处理技术之一。
辅助燃料和助燃。催化燃烧一般采用天1然气作辅助燃料，也可用燃料油、电加热等作辅助燃料。助燃一般用净化后的气体，如果净化后的气体不能作为助燃，则应引入空气助燃。