等离子光解废气处理设备是等离子废气净化和UV光解废气净化设备两种设备相结合而成的，设备主要分为紫外线光解区和等离子分解区，恶臭气体先经过紫外线光解区反应然后再进入等离子分解区进一步分解，经多级净化后使排放的恶臭气体达标后排放。
该废气处理设备的运行机理：污染介质在电离的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过定向链化学反应后被脱除。当平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在臭氧发生器吸附场的作用下被收集。介质内分子浓度及共存的介质成分。
我公司研发的废气处理设备（光氧催化设备）对气态有机污染物的降解机理：有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由臭氧发生器作用引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子.分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解将废气进行净化处理。
该废气净化系统（光氧催化设备)由初滤单元、-C波段紫外线装置，降解收集，臭氧发生器及过滤单元等设备和部件组成。
废气处理设备低温等离子应用范围：
该技术能够应用于污水处理厂,石油化工,制药,污水处理,涂料,皮革加工,感光材料,汽车制造,食品加工厂,印染厂,垃圾处理厂,公厕,屠宰场,牲畜饲养场,鱼类加工厂,饲料加工厂等诸多能够产生恶臭异味的场所。