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晶圆防爆真空固化炉

  • 发布时间:2021-10-07 00:00:00
    报价:面议
    地址:广东,广州,广州市黄埔区开创大道1936号萝岗奥园广场H6栋2
    公司:广州安菲环保科技有限公司
    手机:13533893339
    微信:q969381546
    用户等级:普通会员 已认证

    品牌: GYPEX英鹏
    型号: ZK-固化系列
    价格: 电议/面议

    产品用途:

      本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料

    固化的专用设备,烘箱温度可达450℃

    性能特点:

    1.真空度可达10 Pa

    2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口

    3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制

    4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

    型号:   ZK-固化系列                                 

    内箱尺寸(H*W*D)   :   nbsp;                          

    控温范围 :RT+20℃~450℃

    温度波动 :±0.5℃

    真空度     :0pa

    氧含量      :≤20ppm

    内箱材质   :SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

    外箱材质 :钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

    保温材料 :硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

    保护装置 :声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

    功率    :9.0    12.0

    电源    :AC380V±10%3中50HZ

    晶圆防爆真空固化炉

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