品牌: | GYPEX英鹏 |
型号: | ZK-固化系列 |
价格: | 电议/面议 |
产品用途:
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料
固化的专用设备,烘箱温度可达450℃
性能特点:
1.真空度可达10 Pa
2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口
3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制
4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
型号: ZK-固化系列
内箱尺寸(H*W*D) :  nbsp;  
控温范围 :RT+20℃~450℃
温度波动 :±0.5℃
真空度 :0pa
氧含量 :≤20ppm
内箱材质 :SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质 :钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel
保温材料 :硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置 :声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp
功率 :9.0 12.0
电源 :AC380V±10%3中50HZ