低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
2、低温等离子废气处理设备应用范围
2.1 异味处理
低温等离子废气可以处理异味废气、恶臭废气，如硫醇类、脂肪酸、二甲基硫等恶臭类气体
低温等离子废气处理设备处理有机废气
2.2 油雾净化
工业油雾：加热炉油烟、退火炉油烟等
2.3 低浓度有机废气
如污水处理厂、垃圾厂、制药厂、炼油厂、化工厂、屠宰厂、养殖厂、饲料加工厂、造纸厂、印刷厂、塑料再生厂、实验室产生的低浓度有机废气
3、低温等离子废气处理设备优缺点
3.1低温等离子废气处理优点
1）介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，达到常用等离子技术(电晕放电)的1500倍，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
2）低温等离子废气净化设备技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，即达到很好的处理效果。
3）气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子废气处理技术设备腐蚀问题。
4）等离子废气处理设备主机为成套工业废气处理装置，前面配有专用塔，能有效去除废气中的粉尘和水分，操作简单。
5）自动化程度高，设备启动、停止十分迅速，随用随开，对于部分化工生产的不连续性，可以在生产时开启，不生产的间隙停止运行，大量的节约能源。
6）运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3～0.9分钱。
7）应用范围广阔，基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的去除率达80-98%。
3.2低温等离子废气处理缺点
1）不能应用与要求防爆的场合
2）适用废气浓度较低200mg/m3以下
4、低温等离子废气处理设备处理效率低温等离子废气处理效率在60%——80%左右。