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高精度电控平移台

  • 发布时间:2020-04-23 09:48:49
    报价:58600/台
    地址:广东,深圳,龙岗区
    公司:深圳维尔克斯光电有限公司
    手机:13691916712
    微信:wxdi_m6jiapq8kxybp22
    电话:0755-84870203
    用户等级:普通会员 已认证

    X-LDM-AE系列为移动磁道电动线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。中央安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm。

    X-LDM-AE采用高效无铁芯马达,提供高速和加速同时max‘’限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。

    有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。

    X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。

    X-LDM-AE高精度电控平移台特点

    - 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm

    - 1 nm分辨率并有线性编码器

    - 速度最快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g

    - 60,110,210 mm三种行程选择

    - 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接

    - 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙

    - 一个数字输入和两个数字输出

    - 可组合成双轴XY

    重复性Repeatability:

    在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。

    精度(单向)Accuracy (unidirectional):

    当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。

    增量移动Minimum Incremental Move:

    定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。

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