工业专用废气处理设备针对中低浓度废气，利用吸附-催化燃烧工艺进行回收净化的过程如下：有机废气经去除粉尘等预处理后，进入装有高效吸附剂的吸附器，空气得到净化。随着吸附的进行，吸附剂逐渐达到饱和，在与高温热空气的接触过程中，有机废气被脱附下来形成高度浓缩的废气，同时吸附床得到再生。再生后的吸附床又可进行吸附作业。经脱附形成的浓缩废气进入催化燃烧器。
工业专用废气处理设备的催化燃烧过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化
工业专用废气处理设备主要用于涂装、印刷、机电、家电、制鞋、塑料及各种化工车间里挥发或泄漏出的有害有机废气的净化及臭味的，最适用于较低浓度的、不宜采用直接燃烧或催化燃烧和吸附回收处理的有机废气，尤其对大风量的处理场合，均可获得满意的经济效益和社会效益。有机废气催化燃烧技术是指在催化剂的作用下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳，达到治理的目的。催化燃烧废气处理法处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的技术。从1949年美国研制出上第一套有机废气催化燃烧装置到现在，这项技术已广泛地应用于油漆、橡胶加工、塑料加工、树脂加工、皮革加工、食品业和铸造业等部门，也用于汽车废气净化等方面。中国在1973年开始催化燃烧处理法用于治理漆包线烘干炉排出的有机废气,随后又在绝缘材料、印刷工业等方面进行了研究,使催化燃烧设备得到了广泛的应用。
催化燃烧适用于含有可燃气体、蒸气等有毒有害气体的净化，但对于含有大量尘粒、雾滴等有毒有害气体，容易引起催化床层的堵塞，使催化活性下降，从而降低净化效率。催化燃烧净化方法，几乎适用于所有排放烃类或有臭味化合物的工业生产过程。
活性炭催化燃烧装置怎么处理废气呢？有机溶剂废气进人活性炭催化燃烧装置，其中有机溶剂分子或分子团即被吸附在活性碳微孔内，洁净空气排入大气。当活性碳吸附饱和后需对活性碳进行再生，让其能重新恢复吸附功能，该装置采用的是热空气脱附，在刚开机时，利用装置内的电加热器对空气进行加热，一般加热到高于被吸附溶剂沸点温度，热空气通过吸附器后，吸附材料中的有机溶剂转移到脱附空气中，溶剂浓度将进一步提高。