有机废气处理设备在现阶段的解决方式有附法、消化吸收法、点燃法、冷疑法、微生物法等。采用清洁方式时，应依据详细情况优先选择采用花费低、能耗少、无污染的方式，尽可能保证化害为利，充足综合利用成份和余热回收。
与大多数工业废气情况相比，石化工业由于废气浓度高，采用冷凝、吸收、直接燃烧等方法。由于涂料施工、印刷等行业废气浓度低，采用吸附、催化燃烧等方法。而现阶段在有机废气处理设备中低温等离子废气净化设备做为高新科技有机废气处理技术性，具备实际操作安全性、运作成本费廉价、无污染的特性，针对恶臭味气体的处理率可超过九层左右。
低温等离子有机废气处理设备的原理是根据特殊的激发光源产生不同能量的光量子，利用恶臭物质对光量子的强吸收，在光量子的冲击下使恶臭物质分子解离，且光量子分解空气中的氧分子产生游离氧，也就是活性氧。
有机废气处理设备由于自由氧携带的正负电子不平衡，需要与氧分子结合进一步产生臭氧，臭氧在光子的作用下会产生大量的新生态氢、活性氧、羟基氧等活性基团，部分恶臭物质也会与活性基团反应，最终转化为CO2、H2O等无害物质。