RCO催化燃烧设备的流程有分建式和组合式两种：
（1）在分建式流程中，预热器、换热器、反应器均作为单独设备分布设立，其间用相应的管路边接，一般应用于处理气量较大的涂装生产线上；
（2）组合式流程将预热、换热及反应等部分组合安装在同一设备中（即催化燃烧炉），流程紧凑，一般应用于处理气量较小的涂装生产线上。
含 VOCs 废气进入装置入口，经过滤器过滤后进入换热器室进行热交换，再进入燃烧器室对废气进行预加热（燃烧用氧气为废气中所含有的空气，也可通过旁路风阀补充空气），待加热至 350 ℃后由送风机将预热气体抽至催化剂室进行催化氧化。由于部分废气中含有硫、硅等元素，会使贵金属催化剂中毒，因此预加热后的废气在进入催化剂室前需进行预处理。当处理后的废气进入催化剂室并与氧化催化剂接触时，催化剂将废气中的 VOCs 氧化分解成CO2 和 H2O。处理后的无害气体将被送入一次换热器，与从入口来的废气进行热交换，达到节约热源的目的。风机采用耐高温型号，放置于设备本体下游部分，目的在于使上游路径形成负压，防止气体泄漏。装置排气口预设取样孔，用于对处理后的废气进行成分检测。