高纯氩在半导体工业顶用作出产高纯硅和锗晶体的维护5261气体；可用作体系，增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所使用4102。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；维护气；在钛、钴和其他金属的出产顶用1653作气；在黑色冶金顶用于吹炼特种钢。
性质：无色无味气体。化学性质不生动，未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃)；液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气别离提氩，行将液化的空气进行精馏，得到粗氩。抽出粗氩，经进一步提纯可得到高纯氩。