XPS测试注意事项
1. XPS可以做的项目:常规全谱窄谱测试,俄歇谱,价带谱,深度溅射,MAPPING,角分辨
2. XPS测试的元素范围是Li-Cm, H,He元素不能测试
3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。
4. 无特殊说明,默认是使用单色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV
5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰,当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况,解决方法是a.通过分峰拟合(这个是数据分析的内容)后再重新定量,b.测试其他轨道的峰,需要备注相应的轨道,默认是测试最强峰,c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠,建议可以更换靶材试试,比如Mg靶。
样品要求:
1. 样品状态:可为粉末、块状、薄膜样品
2. 粉末样品:10-20mg
3. 块状、薄膜样品:块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm