扫描电镜测试（SEM+EDS）
简介
扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜的优点是，1有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；2有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；3试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
工作原理
扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体）。
测试步骤
将样品进行表面镀铂金后，放入扫描电子显微镜样品室中，使用15 kV的加速电压对测试位置进行放大观察，并用X射线能谱分析仪对样品进行元素定性半定量分析。
样品要求
非磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性的固态样品，小于8CM*8CM*2CM。
标准
GB/T 微束分析 能谱法定量分析
主要功能：
场发射扫描电镜（SEM）
3D背散射电子取向成像系统（EBSD）
聚焦离子束系统（FIB）