Dupont Kalrez密封圈8085

Dupont Kalrez密封圈8085

Dupont Kalrez密封圈9100

Dupont Kalrez密封圈8002

Kalrez® 9100 – 一种琥珀色半透明产品，专门针对沉积工艺应用，即 HDPCVD、PECVD、SACVD、金属 CVD、ALD 等。

Kalrez® 9300 – 适用于所有蚀刻工艺的棕色产品。它专门设计用于等离子体环境是离子和自由基组合的应用。

Kalrez® 9500 – 一种棕褐色产品，专门用于使用臭氧进行处理的沉积工艺。它专门设计用于等离子环境更“化学”的应用。

Kalrez® 8002 – 一种清澈透明的产品，适用于“精选”等离子工艺应用，即沉积、蚀刻、灰化/剥离。

Kalrez® Sahara™ 8085 – 米色通用产品，用于蚀刻、灰化/剥离和沉积工艺应用，即 HDPCVD、PECVD 和 SACVD。

Kalrez® 8900 – 一种专为半导体热处理（即氧化、扩散炉、金属 CVD、ALD 和 LPCVD）开发的黑色产品。

Kalrez® Sahara™ 8475 – 一种白色产品，专门开发用于满足与半导体热工艺中密封应用相关的挑战性要求，即氧化、扩散、熔炉、LPCVD、RTP 和灯退火。

Kalrez 8575 - 一种用于“选择”蚀刻、灰化/剥离和沉积工艺应用的白色产品。它在基于氧和氟的等离子体中具有极低的重量损失、低释气和出色的弹性恢复特性。

Kalrez® 6375UP – 适用于湿法工艺应用的黑色产品。该产品对所有类型的湿法化学品、酸和碱都具有出色的耐化学性。

Kalrez® 粘合门密封件 – 有 9100、8002 和 Sahara® 8085 可供选择，与用于蚀刻、灰化/剥离、HDPCVD、PECVD、SACVD、金属 CVD 和 ALD 晶片的传统 O 形圈相比，这些密封件显着提高了颗粒生成和密封性能处理应用程序。