韩国2050光学机配置表:
机械泵 英国爱德华275
罗茨泵 英国爱德华EH2600
扩散泵 韩国双800
膜厚仪 美国英福康IC-5
电子枪 日本原装JEOL双枪(目前单枪)
离子源 韩国霍尔源
深冷 韩国
韩国2050光学机配置表:
机械泵 英国爱德华275
罗茨泵 英国爱德华EH2600
扩散泵 韩国双800
膜厚仪 美国英福康IC-5
电子枪 日本原装JEOL双枪(目前单枪)
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