LFHS3 运动范围XYZ（µm） 75 75 50 分辨率XYZ（nm） 0,075 0,075 0,05 典型的噪声基准XYZ（nm） 0,0075 0,0075 0,005 全方位的重复性XYZ（nm） 0,15 0,15 0,1 线性化（典型的） 0,02% 0,02% 0,02% 谐振频率X / Y / Z（赫兹） 3000 2000 1500 刚度 X/Y/Z (N/µm) 4 3 3 最*负载（kg）-水平使用 1 最*负载（kg）-垂直使用 0,5 传感器 Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 140 x 121 x 33,6 材料 Al 电缆长度（m） 2 推*控制器 High Speed