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BIO3.100
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BIO3.200
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BIO3.300
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运动范围XYZ（µm）
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100
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200
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300
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分辨率XYZ（nm）
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0,1
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0,2
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0,3
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典型的噪声基准XYZ（nm）
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0,01
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0,02
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0,03
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全方位的重复性XYZ（nm）
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0,2
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0,4
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0,6
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线性化（典型的）
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0,02%
|
0,02%
|
0,02%
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谐振频率X / Y / Z（赫兹）
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500/400/400
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400/350/300
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300/250/250
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刚度 X/Y/Z (N/µm)
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0,6/0,5/0,5
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0,5/0,4/0,4
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0,4/0,3/0,3
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最da负载（kg）-水平使用
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1
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1
|
1
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最da负载（kg）-垂直使用
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0,5
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0,5
|
0,5
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传感器
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Silicon HR sensor
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Silicon HR sensor
|
Silicon HR sensor
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尺寸W x L x H (mm)
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152,5 x 213 x 20,45
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152,5 x 213 x 20,45
|
152,5 x 213 x 20,45
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材料
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Al or Invar
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Al
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Al
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电缆长度（m）
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2
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2
|
2
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推jian控制器
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Standard
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Standard
|
Standard
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